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  气体传感器

  基于微机电系统技术制造的微型化气体检测装置，它将传统气体传感器的核心敏感元件、信号处理单元等集成在硅

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  压电传感器

  基于压电效应，结合微机电系统（MEMS）技术制造的微型化传感装置，它将压电材料与硅基微结构集成，能实

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  氮化硅薄膜窗口芯片

  以氮化硅薄膜为核心敏感或功能部件的芯片，在传感器、光学器件等领域应用广泛。

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  微流控芯片

  利用微机电系统（MEMS）技术，将生物、化学、医学分析过程中的样品制备、反应、分离、检测等基本操作单

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  雾化芯片

  将雾化功能集成在微小芯片上的器件，具有体积小、功耗低、雾化效率高等优点。

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  悬膜器件

  在硅基衬底上制作的悬空薄膜微结构器件，核心由支撑框架和悬空薄膜两部分组成，薄膜与衬底之间形成封闭或开