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  气体传感器

  基于微机电系统技术制造的微型化气体检测装

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  压电传感器

  基于压电效应，结合微机电系统（MEMS）

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  氮化硅薄膜窗口芯片

  以氮化硅薄膜为核心敏感或功能部件的芯片，

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  微流控芯片

  利用微机电系统（MEMS）技术，将生物、

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  雾化芯片

  将雾化功能集成在微小芯片上的器件，具有体

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  悬膜器件

  在硅基衬底上制作的悬空薄膜微结构器件，核