基于压电效应，结合微机电系统（MEMS）技术制造的微型化传感装置，它将压电材料与硅基微结构集成，能实现对力、压力、振动、加速度等物理量的高精度检测，兼具小型化、低功耗、高响应速度、批量生产的优势，广泛应用于消费电子、工业监测、汽车电子等领域。