在硅基衬底上制作的悬空薄膜微结构器件，核心由支撑框架和悬空薄膜两部分组成，薄膜与衬底之间形成封闭或开放式空腔。这类器件利用悬膜在外力、温度、气体等作用下的形变、应力变化或振动特性，实现对物理量或化学量的检测，是 MEMS 传感器、执行器的核心基础结构。