基于微机电系统技术制造的微型化气体检测装置，它将传统气体传感器的核心敏感元件、信号处理单元等集成在硅基芯片上，兼具小型化、低功耗、低成本、高灵敏度、批量生产等优势，是目前气体传感器领域的主流发展方向。